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碳化硅激光退火装备

本装备用于碳化硅的欧姆退火工艺,具备裸片自动上下料、晶圆自动校准等功效。 加工工艺效果优异;加工效率高;装备运行无需耗材,加工成本较低。

  • 咨询电话:0512-6507 0150
  • 电子邮箱:yj.tao@renbaoe.net

■ 装备优势

◆ 激光器自制,自主可控

◆ 工艺窗口较广,可兼容其他质料的退火要求

◆ 切合SEMI行业尺度


■ 应用领域

      应用于碳化硅晶圆片的背金激光退火(以碳化硅质料为基板的晶圆)。




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